중성 자유 라디칼이며 가장 강력한 산화 라디칼 종 중 하나인 하이드록실 라디칼(·OH : Hydroxyl radical)은 그 어떤 화합물도 산화시킬 수 있으며, 매우 높은 반응성으로 생성되는 순간 유기 탄소 및 유기물들과 무차별적으로 반응하여 작은 무기 분자들로 분해하며, 대부분의 반응은 확산 제어 한계에 도달합니다.
물에 200nm 이하의 진공 자외선을 조사하면 물 분자의 균질화와 광화학 이온화를 초래하여 하이드록실 라디칼이 생성됩니다.
진공 자외선을 이용한 광분해는 산화제를 첨가하지 않고 물속에서 고농도의 하이드록실 라디칼을 생성할 수 있는 간단하고 가장 깨끗한 방법으로 주로 UPW(Ultra Pure Water) 생산 공정에서 TOC를 제거하기 위해 이용됩니다.
